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标准详细信息

标准号:	GB/T 14847-1993
中文题名：	重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
英文题名：	Test method for thickness of lightly doped silicon eqitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance
原文题名：
发布出版日期：	1993-12-30	实施日期：	1994-09-01	确认日期：	2004-10-14
发布或出版单位：	CN-GB	开本页数：	8P.;A4
被代替标准信息：
引用信息信息：
相关分类号：	中国标准分类号：	L40
	国际标准分类号：	29.040.30
相关关键词：	测量外延层厚度红外线辐射衬底(绝缘) 硅

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