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标准详细信息
标准号: BS ISO 14606-2001
中文题名: 表面化学分析.溅射深度剖面测定.采用作为参考材料的成层系统最优化
英文题名: Surface chemical analysis - Sputter depth profiling - Optimization using layered systems as reference materials
原文题名:
发布出版日期: 2001-01-15 实施日期: 2001-01-15 确认日期:
发布或出版单位: GB-BSI 开本页数: 24P.;A4
被代替标准信息: 99/121064 DC-1999
引用信息信息:
相关分类号: 中国标准分类号: A04
国际标准分类号: 71.040.40  
相关关键词:
表面性质 化学分析和试验 显微分析 参比状态 光谱化学分析 光谱学 电子发射 叠层板材 表面化学 轮廓测量 X射线 控制样品 辐射测量 螺旋钻 质谱学 深度
Atomization Chemical analysis and testing Definition Definitions Depth profile Determination of content Electron spectroscopy Finishes Ion beams Layers Optimization Reference materials X-ray spectrometry

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