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标准详细信息

标准号:	ASTM E1127-2008
中文题名：	俄歇电子能谱学中的深度压形的标准指南
英文题名：	Standard Guide for Depth Profiling in Auger Electron Spectroscopy
原文题名：
发布出版日期：	2008	实施日期：		确认日期：
发布或出版单位：	US-ASTM	开本页数：	5P.;A4
被代替标准信息：
引用信息信息：
相关分类号：	中国标准分类号：
	国际标准分类号：	71.040.50 (Physicochemical methods of analysis)
相关关键词：	angle lapping angle-resolved AES Auger electron spectroscopy ball cratering compositional depth profiling cross sectioning depth profiling depth resolution sputter depth profiling sputtering thin films Surface analysis--spectrochemical analysis Angle lapping and staining technique Argon atmospheres Auger electron spectroscopy (AES) Ball cratering Crater edge profiling Depth profiling Gases Ion sputtering Noble gas ions Nondestructive evaluation (NDE) Polishing properties Sputter depth profiling data Xenon

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