中国机电产品进出口商会

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标准详细信息

标准号:	ANSI/IEST/ISO 14644-2-2000
中文题名：	洁净室和相关控制环境.第2部分:证明持续符合 IEST/ISO 14644-1-1999要求的试验和监测规范
英文题名：	Cleanrooms and associated controlled environments--Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with IEST/ISO 14644-1:1999
原文题名：
发布出版日期：	2003-07-29	实施日期：	确认日期：
发布或出版单位：	US-ANSI	开本页数：
被代替标准信息：
引用信息信息：
相关分类号：	中国标准分类号：	N64
	国际标准分类号：	13.040.35
相关关键词：	规范(验收) 合格试验净室技术颗粒杂质定义验证粒子浓度空气纯度规范测定粒子数监督(认可) 空气污染无菌室 Air pollution Air purity Air quality Clean rooms Clean-room technology Concentration of particles Conformity Definition Definitions Determinations Impurities Number of particles Particles Specification Specification (approval) Surveillance (approval) Testing Verification